◆性能特點(diǎn):
實(shí)現(xiàn)探針和樣品組合式移動(dòng)掃描的商業(yè)化原子力顯微鏡。
采用三軸獨(dú)立閉環(huán)壓電平移式掃描臺(tái),實(shí)現(xiàn)大范圍高精度掃描。
三軸獨(dú)立式掃描,XYZ互不影響,非常適合三維材料及形貌檢測(cè)。
電動(dòng)控制樣品移動(dòng)臺(tái)和升降臺(tái),可任意編程多點(diǎn)位置實(shí)現(xiàn)快速自動(dòng)化檢測(cè)。
龍門(mén)架式掃描頭設(shè)計(jì),大理石底座,真空吸附和磁性吸附式載物臺(tái)。
馬達(dá)自動(dòng)控制加壓電陶瓷自動(dòng)探測(cè)的智能進(jìn)針?lè)绞?,保護(hù)探針及樣品。
高倍輔助光學(xué)顯微定位,實(shí)時(shí)觀測(cè)與定位探針以及樣品掃描區(qū)域。
閉環(huán)壓電掃描臺(tái)無(wú)需非線性校正,納米表征和測(cè)量精度優(yōu)于99.5%。
◆測(cè)量范圍及應(yīng)用:
測(cè)量范圍:二維、三維、Z值、相位、表面形貌、粗糙度、膜厚、形貌、相位。
應(yīng)用:納米材料、石墨烯、薄膜、鈍化膜、短切玻纖復(fù)材、分子篩、TiO2、CrPS4(15)、CrPS4(16)、中空纖維膜絲、粗糙度測(cè)試、四氧化三鐵、M13-PBA等。
◆ 應(yīng)用案例 Application Case
序號(hào) | 名稱(chēng) | 技術(shù)參數(shù) |
01 | 平場(chǎng)目鏡 | WF10X/Φ24mm |
02 | 無(wú)限遠(yuǎn)平場(chǎng)物鏡 | 長(zhǎng)工作距離無(wú)限遠(yuǎn)平場(chǎng)物鏡:5×/NA0.15 WD:15 10×/NA0.25 WD:10.75 20×/NA0.4 WD:10.90 50×/NA0.74 WD:3.00 |
03 | 總放大倍數(shù) | 50X-500X |
04 | 觀察頭 | 三目觀察筒,45°傾斜,瞳距調(diào)節(jié)50~75mm,兩檔轉(zhuǎn)換:****觀察;70%觀察,同時(shí)30%攝影 |
05 | 轉(zhuǎn)換器 | 五孔(內(nèi)向式滾珠內(nèi)定位) |
06 | 粗微調(diào)調(diào)焦范圍 | 粗微動(dòng)同軸調(diào)焦,行程12mm,帶鎖緊裝置,微動(dòng)格值:2μm |
07 | 載物臺(tái) | 三層機(jī)械移動(dòng)載物臺(tái),面積210×180mm,移動(dòng)范圍50×50mm,游標(biāo)刻度0.1mm |
08 | 光瞳距離 | 53-75mm |
09 | 濾色片 | 可配置藍(lán)、綠、黃、灰濾色片和磨砂玻璃片 |
10 | 照明 | 12V/50W鹵素?zé)簦?/span>具有光源鎖緊保護(hù)功能 |
11 | 電壓 | 主機(jī)安全低壓直流輸入:12V5A,適配器寬電壓輸入:100V~240V |
12 | 偏光裝置 | 拉板式起偏器,檢偏器 |
13 | 儀器重量 | 凈重13kg 毛重16kg |
14 | 儀器尺寸 | 儀器尺寸68.1X27.5X37.5(cm) 包裝尺寸65X51X35(cm) |